Mitsubishi Electric asumió la producción del cuerpo principal para máquinas seleccionadas de Mitsubishi Heavy Industries en 1963. Después, en 1964, la primera máquina de electroerosión por penetración (EDM) fabricada íntegramente por Mitsubishi Electric, la DIAX-DM201, salió de la línea de producción. En el mismo año, Mitsubishi Electric utilizó semiconductores tiristores para la fuente de alimentación a fin de resolver uno de los mayores desafíos de la industria: el desgaste excesivo de los electrodos, consolidando así su posición en el sector. En 1972, la empresa inició la producción de máquinas de electroerosión por hilo, la DIAX-DWC50S-LT. En respuesta a la demanda de la industria de una mayor velocidad de mecanizado, por primera vez en el mundo, Mitsubishi Electric equipó un sistema de la serie N con una fuente de alimentación transistorizada, permitiendo la conmutación de alta velocidad con una alta corriente de pico, para alcanzar las velocidades de mecanizado más rápidas del mundo de 60 ㎟ por minuto. La empresa continuó alcanzando las velocidades más rápidas del mundo, de 250 ㎟ por minuto en 1985 a 500 ㎟ por minuto en 2002. Mitsubishi Electric mantiene su posición de liderazgo en el sector, habiendo producido un total de 70.000 unidades hasta febrero de 2019.